Miért vanMolibdén tömítésmagas{0}}hőmérsékletű tömítéshez?
A vákuumbevonat-ipar munkakörülményeinek fájdalompontjai: miért vannak szigorú követelmények a tömítésekkel szemben?
A mágneses porlasztás és az elektronsugaras elpárologtatás a félvezető lapka bevonat, az optikai lencsebevonat és a fotovoltaikus üvegbevonat alapvető folyamatai. Gyártási körülményeikben három fő fájdalompont van, és a hagyományos tömítések egyáltalán nem tudnak alkalmazkodni. Ez egyben az iparág speciális követelménye is a tömítőelemekre vonatkozóan. A követelmények okai:
Magas vákuumkövetelmények: A folyamatnak rendkívül magas, 10 ³ ~ 10 ₹ Pa vákuumkörnyezetet kell fenntartani. Ha a tömítésnek problémái vannak a leeresztéssel és a vákuumszivárgással, az hibákat, például lyukakat, gödröket és csökkent tapadást okoz a bevonatrétegben.
Magas hőmérsékletű üzemállapot: A bevonási folyamat során a megcélzott hevítési és hordozósütési hőmérséklet elérheti a 300-800 fokot, és egyes csúcskategóriás elektronsugaras párolgási folyamatok akár az 1000 fokot is meghaladják. A tömítésnek stabil méretet kell tartania magas hőmérsékleten, deformáció vagy lágyulás nélkül.
Közepes korrózióállóság: A bevonat során fémgőzök, például alumínium, titán, króm és szilícium keletkeznek. Ugyanakkor, ionos bombázás kíséretében, a tömítésnek kerülnie kell a bevont fémmel való ötvözési reakciókat, és nem oxidálható ionbombázással, hogy szennyező részecskéket képezzen.
A hagyományos tömítések (a gumitömítések < 200 fokos magas hőmérsékletállóságúak, a rozsdamentes acél tömítések magas hőmérsékletű hőtágulási együtthatóval rendelkeznek, a réz tömítéseket pedig könnyen átitatja a bevonatos fém) egyidejűleg nem felelnek meg a fenti követelményeknek, és a molibdén anyagjellemzői éppen megfelelnek a vákuumbevonat munkakörülményeinek. Legyen a legjobb választás a tömítőalkatrészek számára ebben az iparágban.
Melyek a molibdén tömítések alapvető műszaki jellemzői, amelyek alkalmazkodnak a vákuumbevonat-iparban a magas hőmérsékletű vákuumtömítésekhez-?
három dimenzió
A molibdén tömítések pontosan meg tudják oldani a vákuum bevonat körülményeinek fájdalmas pontjait. A mag a molibdén tűzálló fém jellegéből, valamint az ipari igényeknek megfelelő anyag- és feldolgozási optimalizálásból ered. Magas-hőmérsékletű vákuumtömítési alkalmazkodóképessége elsősorban három dimenzióban tükröződik:
Alacsony hőtágulás magas hőmérsékleten és nagy méretstabilitás a tömítőfelület meghibásodásának elkerülése érdekében
A molibdén olvadáspontja eléri a 2610 fokot, a bevonat 800 fok alatti működési körülményei között nincs lágyulás, képlékeny deformáció, és a hőtágulási együttható alacsony (5,8 × 10 ± →/ fok, 20 ~ 500 fok), ami összhangban van a vákuum-együttható test üregével a vákuum-együttható test üregével. (304/316 rozsdamentes acél, titánötvözet) kiválóan illeszkedik.
A konkurens rozsdamentes acél tömítésekkel összehasonlítva a rozsdamentes acél hőtágulási együtthatója körülbelül 17 × 10 fok/fok. Magas hőmérsékleten az üreg és a tömítés közötti hőtágulási alakváltozási különbség nagy, ami hézagokhoz vezet a tömítőfelületen, és vákuumszivárgást okoz; A molibdén tömítés és az üreg szinkronban tágul és húzódik össze, ami mindig megőrzi a tömítőfelület szoros illeszkedését, és elkerüli a gyökér termikus deformációja által okozott tömítési hibákat.
Alacsony légtelenítési teljesítmény nagy tisztaság mellett az ultra{0}}nagy vákuumkörnyezet biztosítása érdekében
A vákuumbevonat rendkívül magas követelményeket támaszt a tömítés légtelenítési sebességével szemben. Ha pórusok és szennyeződések vannak a tömítésen belül, akkor magas hőmérsékleten olyan gázok szabadulnak fel, mint a H ₂ O, CO ₂ és N ₂, és tönkreteszik a vákuumot.
Az ipari vákuumbevonatokhoz használt molibdén tömítések molibdén tisztaságának nagyobbnak vagy egyenlőnek kell lennie, mint 99. 95%, és a csúcskategóriás-elektronsugaras párologtatásos bevonaténak nagyobbnak vagy egyenlőnek kell lennie, mint 99. 99%; A nagy-tisztaságú molibdén belső porozitása < 0,01%, és a vákuumos izzítást követően (vákuumfok 10 ˚ Pa felett, hőmérséklet 1000 ~ 1200 fok) a feldolgozási folyamat során adszorbeált olaj, víz és belső maradék gáz eltávolítható, így a teljes molibdén elgázosítási sebessége a vákuum alatti hőmérséklet < magas. 1 × 10 ˚ Pa m³/s, ami teljes mértékben megfelel a 10 ˚ Pa ultra{11}}nagyvákuum technológiai követelményeinek.
Anti-bevonat, anti-ionos bombázás és a szennyeződések bejutásának elkerülése
A molibdén kiváló kémiai stabilitással rendelkezik. Vákuumban és magas hőmérsékletű{1}}környezetben nem ötvöződik a főbb bevonófémekkel, például alumíniummal, titánnal és krómmal, és nem áztatja el a bevonó fémgőz. Ugyanakkor a molibdén erős anti-ion bombázó képességgel rendelkezik. A magnetronos porlasztás ionhatása alatt nem lesznek oxidációs törmelékek vagy leváló részecskék a felületen, ami elkerüli a bevonatrétegbe kerülő szennyeződések okozta termékhibákat.
A hagyományos rozsdamentes acél tömítések hajlamosak oxidrészecskék, például Cr ₂ O ˚, Fe ˚ O ˚ képződésére ionos bombázás hatására, ami az egyik fő oka a lyukak és gödrök kialakulásának a bevonó termékekben.
Milyen gyakorlati alkalmazási értéket hozhatnak a molibdén tömítések a vákuumbevonat iparban?
A hagyományos tömítésekkel összehasonlítva a molibdén tömítések jelentősen javíthatják a termelés hatékonyságát és a termékminőséget a vákuumbevonat gyártósorán. Az alapérték a tényleges termelés költségcsökkentésében, hatékonyságnövelésében és minőségi javításában jelenik meg:
Emelőberendezés kihasználtsága: a molibdén tömítések élettartama 800 fok alatti üzemi körülmények között a rozsdamentes acél tömítések 5-8-szorosa, a réz tömítéseké 3-5-szöröse, ami csökkenti a tömítés meghibásodása miatti leállások és párnacserék számát. Hagyományos bevonat. A gyártósor a havi leállási karbantartási időt 8-10 óráról 1-2 órára csökkentheti.
Javítsa a bevonótermékek hozamát: az alacsony gázkibocsátás és a szennyeződésmentesség jellemzői több mint 80%-kal csökkenthetik a lyukak és gödrök nem megfelelő arányát a bevonótermékeken, különösen alkalmasak a csúcsminőségű bevonatterületekre, például a félvezetőkre és az optikai lencsékre.
Csökkentse az átfogó költségeket: Bár a molibdén tömítések egységára 3-5-ször magasabb, mint a rozsdamentes acél és réz tömítések ára, az ultra-hosszú élettartam és a megnövelt hozam miatti költségmegtakarítás sokkal magasabb, mint a kezdeti beszerzési költség. A fogyóeszközök költsége körülbelül 40%-kal csökkenthető.
Hogyan lehet optimalizálni a molibdén tömítések alkalmazási fájdalompontjait a vákuumbevonat-iparban?
Jelenleg a molibdén tömítések alkalmazása során a vákuumbevonat-iparban egy kis fájdalompont jelentkezik az elégtelen oxidációs ellenállás miatt 800 fok feletti magas hőmérsékleten. A molibdén könnyen oxidálható MoO ㎡ (illékony, szennyezi a vákuumüreget) magas hőmérsékletű levegő/alacsony vákuum alatt. Erre a problémára válaszul az iparágban az optimalizálási irány egyértelmű megoldást hozott, és a mag a molibdén-alapú kompozit tömítések körül forog:
Felületi kompozit módosítás: a molibdén tömítés felületén egy vékony tantálréteg kompozit van (a tantálnak jobb a magas hőmérsékletű oxidációval szembeni ellenállása és kémiai stabilitása), ami nemcsak megőrzi a molibdén alacsony hőtágulási jellemzőit, hanem javítja a magas hőmérsékletű oxidációval szembeni ellenállást is.
Molibdénötvözet tömítések: A Mo-Ti-Zr ötvözetből készült tömítések az ötvözés optimalizálása révén az anyag magas hőmérsékletű oxidációval szembeni ellenállásának és szilárdságának javítására szolgálnak, és alkalmasak ultra-magas hőmérsékletű bevonási eljárásokhoz 1000 fok felett;
Vákuumos védőkezelés: A molibdén tömítést vákuumionos bevonattal kezelik, és sűrű kerámia védőfóliát képeznek a felületen, hogy izolálják az oxidációs reakciót magas hőmérsékleten anélkül, hogy befolyásolnák a tömítőfelület illeszkedését.
NÉV
Ava
E--mail
